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1、概述
在芯片完成整個(gè)封裝流程之后,封裝廠會(huì)對(duì)其產(chǎn)品進(jìn)行質(zhì)量和可靠性兩方面的檢測。
質(zhì)量檢測主要檢測封裝后芯片的可用性,封裝后的質(zhì)量和性能情況,而可靠性則是對(duì)封裝的可靠性相關(guān)參數(shù)的測試。
首先,我們必須理解什么叫做"可靠性",產(chǎn)品的可靠性即產(chǎn)品可靠度的性能,具體表現(xiàn)在產(chǎn)品使用時(shí)是否容易出故障,產(chǎn)品使用壽命是否合理等。如果說"品質(zhì)"是檢測產(chǎn)品"現(xiàn)在"的質(zhì)量的話,那么"可靠性"就是檢測產(chǎn)品"未來"的質(zhì)量。
圖(1)所示的統(tǒng)計(jì)學(xué)上的浴盆曲線(Bathtub Curve)很清晰地描述了生產(chǎn)廠商對(duì)產(chǎn)品可靠性的控制,也同步描述了客戶對(duì)可靠性的需求。
上圖所示的早夭區(qū)是指短時(shí)間內(nèi)就會(huì)被損壞的產(chǎn)品,也是生產(chǎn)廠商需要淘汰的,客戶所不能接受的產(chǎn)品;正常使用壽命區(qū)代表客戶可以接受的產(chǎn)品;耐用區(qū)指性能特別好,特別耐用的產(chǎn)品。由圖上的浴缸曲線可見,在早天區(qū)和耐用區(qū),產(chǎn)品的不良率一般比較高。在正常使用區(qū),才有比較穩(wěn)定的良率。大部分產(chǎn)品都是在正常使用區(qū)的??煽啃詼y試就是為了分辨產(chǎn)品是否屬于正常使用區(qū)的測試,解決皁期開發(fā)中產(chǎn)品不穩(wěn)定,良率低等問題,提高技術(shù),使封裝生產(chǎn)線達(dá)到高良率,穩(wěn)定運(yùn)行的自的。
在封裝業(yè)的發(fā)展史上,早期的封裝廠商并不把可靠性測試放在*位,人們*重視的是產(chǎn)能,只要一定生產(chǎn)能力就能贏利。到了90年代,隨著封裝技術(shù)的發(fā)展,封裝廠家也逐漸增多,產(chǎn)品質(zhì)量就擺到了重要位置,誰家產(chǎn)品的質(zhì)量好,就占*優(yōu)勢,于是質(zhì)量問題是主要的竟?fàn)廃c(diǎn)和研究方向。進(jìn)入21世紀(jì),當(dāng)質(zhì)量問題基本解決以后,廣廠商之間的競爭重點(diǎn)放在了可靠性上,同等質(zhì)量,消費(fèi)者自然喜歡高可靠性的產(chǎn)品,于是可靠性越發(fā)顯示其重要性,高可靠性是現(xiàn)代封裝技術(shù)的研發(fā)的重要指標(biāo)。
2、可靠性測試項(xiàng)目
一般封裝廠的可靠性測試項(xiàng)目有6項(xiàng),如表1所示
各個(gè)測試項(xiàng)都有一定的目的,針對(duì)性和具體方法,但就測試項(xiàng)目而言,基本上都與溫度,濕度,壓強(qiáng)等環(huán)境參數(shù)有關(guān),偶爾還會(huì)加上偏壓等以制造惡劣破壞環(huán)境來達(dá)到測試產(chǎn)品可靠性的自的。
各個(gè)測試項(xiàng)目大都采用采樣的方法,即隨機(jī)抽查一定數(shù)量產(chǎn)品的可靠性測試結(jié)果來斷定生產(chǎn)線是否通過可靠性測試。各個(gè)封裝廠的可靠性判定標(biāo)準(zhǔn)也各不相同,實(shí)力雄厚的企業(yè)一般會(huì)用較高水準(zhǔn)的可靠性標(biāo)準(zhǔn)。
6種測試項(xiàng)目是有先后順序的,如圖(2)所示。Preconditioning Test是首先要進(jìn)行的測試項(xiàng)目,之后進(jìn)行其他5項(xiàng)的測試。之所以有這種先后順序,是由PRECON TEST的目的決定的,在以下的章節(jié)中,我們分別講述各種測試的具體內(nèi)容,目的。鑒于PRECON TEST特殊性,將放在*介紹。
3、T/C測試(溫度循環(huán)測試)
T/C (Temperature Cycling)測試,即溫度循環(huán)測試。
溫度循環(huán)試驗(yàn)箱如圖3所示,由一個(gè)熱氣腔,一個(gè)冷氣腔組成,腔內(nèi)分別填充著熱冷空氣(熱冷空氣的溫度各個(gè)封裝廠有自己的標(biāo)準(zhǔn),相對(duì)溫差越大,通過測試的產(chǎn)品的某特性可靠性越高)。兩腔之間有個(gè)閥門,是待測品往返兩腔的通道。
在封裝芯片做T/C測試的時(shí)候,有4個(gè)參數(shù),分別為熱腔溫度,冷腔溫度,循環(huán)次數(shù),芯片單次單腔停留時(shí)間。
如表2所示的參數(shù)就代表T/C測試時(shí)把封裝后的芯片放在150℃的溫度循環(huán)試驗(yàn)箱15分鐘,再通過閥門放入-65℃的低溫箱15分鐘,再放入高溫箱,如此反復(fù)1000次。之后測試電路性能以檢測是否通過T/C可靠性測試。
從T/C的測試方法已經(jīng)可以看出,T/C測試得主要目的是測試半導(dǎo)體封裝體熱脹冷縮的耐久性。
在封裝體中,有許多種材料,材料之間都有相應(yīng)的結(jié)合面,在封裝體所處環(huán)境的溫度有所變化時(shí),封裝體內(nèi)各種材料就會(huì)有熱脹冷縮效應(yīng),而且材料熱膨脹系數(shù)不同,其熱脹冷縮的程度就有所不同,這樣原來緊密結(jié)合的材料結(jié)合面就會(huì)出現(xiàn)問題。圖示4是以Lead frame封裝為例,熱脹冷縮是的具體情況:其中主要的材料包括lead frame的Cu材料,芯片的硅材料,連接用的金線材料,還有芯片粘接的膠體材料。其中EMC與硅芯片,Lead frame有大面積基礎(chǔ),比較容易脫層,硅芯片與粘合的硅膠,硅膠和leadframe之間也會(huì)在T/C測試中失效。
再由圖5來看一下T/C測試中的幾個(gè)失效模型。
4、T/S測試(冷熱沖擊測試)
T/S test (Thermal Shock test)即測試封裝體抗熱沖擊的能力。
T/S測試和T/C測試有點(diǎn)類似,不同的是T/S測試環(huán)境是在高溫液體中轉(zhuǎn)換,液體的導(dǎo)熱比空氣快,于是有較強(qiáng)的熱沖擊力。
例如表3所示的參數(shù),就代表在2個(gè)隔離的區(qū)域分別放入150℃的液體和-65℃的液體,然后把封裝產(chǎn)品放入一個(gè)區(qū),5分鐘后再裝入另一個(gè)區(qū),由于溫差大,傳熱環(huán)境好,封裝體就受到很強(qiáng)的熱沖擊,如此往復(fù)1000次,來測試產(chǎn)品的抗熱沖擊性,最終也是通過測試電路的通斷情況斷定產(chǎn)品是否TS可靠性測試。
5、HTS測試
HTS (High temperature Storage)測試,是測試封裝體長時(shí)間暴露在高溫環(huán)境下的耐久性實(shí)驗(yàn)。
HTS測試是把封裝產(chǎn)品長時(shí)間放置在高溫氮?dú)饪鞠?/a>中,然后測試它的電路通斷情況。
如表4參數(shù)表示封裝放置在150℃高溫氮?dú)饪鞠渲?000小時(shí)(圖7中)。
HTS測試的重點(diǎn)是因?yàn)樵诟邷貤l件下,半導(dǎo)體構(gòu)成物質(zhì)的活化性增強(qiáng),會(huì)有物質(zhì)間的擴(kuò)散作用,而導(dǎo)致電氣的不良發(fā)生,另外因?yàn)楦邷?,機(jī)械性較弱的物質(zhì)也容易損壞。
例如圖8所示的kirkendall孔洞產(chǎn)生就是因?yàn)槲镔|(zhì)可擴(kuò)散作用造成的。
在金線和芯片的結(jié)合面上,它的材料結(jié)構(gòu)依次為:鋁,鋁金合金,金,在高溫的狀態(tài)下,金和鋁金屬都變得很活躍,相互會(huì)擴(kuò)散,但是由于鋁的擴(kuò)散速度比金要快,所以在鋁的界面物質(zhì)就變少,就形成了孔洞。這樣就造成電路性能不好,甚至導(dǎo)致斷路。
那么如何解決HTS可靠性測試不良的問題呢?
首先在特定情況下,我們可以選擇使用同種物質(zhì)結(jié)合電路,比如軍事上,金線用鋁線代替,這樣就不會(huì)因?yàn)榻饘匍g的擴(kuò)散而產(chǎn)生不良了。
我們也可以用摻雜物質(zhì)作中介層來抑制物質(zhì)間的相互擴(kuò)散。當(dāng)然還有一種方法就是避免把封裝體長時(shí)間在高溫下放置,沒有長時(shí)間的高溫環(huán)境,自然不會(huì)有擴(kuò)散導(dǎo)致失效的結(jié)果了。
6、TH測試
TH (Temperature & Humidity)測試,是測試封裝在高溫潮濕環(huán)境下的耐久性的實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)結(jié)束時(shí)也是靠測定封裝體電路的通斷特性來斷定產(chǎn)品是否有優(yōu)良的耐高溫濕性。
在TH測試中,由于EMC材料有一定的吸濕性,而內(nèi)部電路在潮濕的環(huán)境下,很容易導(dǎo)致漏電,短路等效應(yīng)。
為了有更好的防濕性,我們會(huì)選擇使用陶瓷封裝來代替塑料封裝,因?yàn)樗芰戏庋b的EMC材料比較容易吸水。當(dāng)然也可控制EMC的材料成分,以達(dá)到改善其吸濕性的目的。
如圖9所示,TH測試是在一個(gè)能保持恒定溫度和適度的恒溫恒濕試驗(yàn)箱中進(jìn)行的,一般測試參數(shù)如表5
7、PCT測試
PCT (Pressure Cooker Test),是對(duì)封裝體抵抗抗潮濕環(huán)境能力的測試。PCT測試與TH測試類似,只是增加了壓強(qiáng)環(huán)境以縮短測試時(shí)間,通常做PCT測試的工具我們叫"高壓鍋、高壓加速老化試驗(yàn)箱"。
PCT測試的參數(shù)如表6所示:
在PCT測試*,也同樣是測試產(chǎn)品的電路通斷性能。在Leadframe封裝中,Leadframe材料和EMC材料結(jié)合處很容易水分滲入,這樣就容易腐蝕內(nèi)部的電路,腐蝕鋁而破壞產(chǎn)品功能。這種情況,一般建議用UV光來照射產(chǎn)品檢測Leadframe材料和EMC材料結(jié)合情況。
PCT針對(duì)性的解決方法就是提高Leadframe和EMC之間的結(jié)合力度,我們可以調(diào)節(jié)EMC材料成分,也可以針對(duì)性地處理Leadframe的表面。
8、Precon測試
Precon測試,即Pre-conditioning測試。從集成電路芯片封裝完成以后到實(shí)際再組裝,這個(gè)產(chǎn)品還有很長一段過程,這個(gè)過程包括包裝、運(yùn)輸?shù)龋@些都會(huì)損壞產(chǎn)品,所以我們就需要先模擬這個(gè)過程,測試產(chǎn)品的可靠性。這就是Precon測試。其實(shí)在Precon測試中,包括了前面的T/IC,TH等多項(xiàng)測試的組合。
Precon測試模擬的過程如下圖所示:
產(chǎn)品完成封裝后需要包裝好,運(yùn)輸?shù)浇M裝廠,然后拆開包裝把封裝后芯片組裝在下一級(jí)板子上,并且組裝還要經(jīng)過焊錫的過程,整個(gè)過程既有類似TC的經(jīng)過,也有類似TH的過程,焊錫過程也需要模擬測試。
整個(gè)Precon測試有一定的測試流程,測試前檢查電氣性能和內(nèi)部結(jié)構(gòu)(用超聲波檢測),確定沒有問題,開始各項(xiàng)惡劣環(huán)境的考驗(yàn),先是T/C測試模擬運(yùn)輸過程中的溫度變化,再模擬水分子干燥過程(一般的包裝都是真空包裝,類似于水分干燥),然后恒溫,定時(shí)放置一段時(shí)間(隨著參數(shù)的不同,分為6個(gè)等級(jí),用于模擬開封后吸濕的過程),*模擬焊錫過程后再檢查電氣特性和內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
模擬吸濕過程的6個(gè)等級(jí)如表7所示,1的等級(jí)*,依次下降,看需要選擇等級(jí)。
在Precon測試中,會(huì)出現(xiàn)的問題有:爆米花效應(yīng),脫層,電路失效等問題。這些問題都是因?yàn)榉庋b體會(huì)在吸濕后再遭遇高溫而造成的,高溫時(shí),封裝體內(nèi)的水分變?yōu)闅怏w從而體積急劇膨脹,造成對(duì)封裝體的破壞。我們應(yīng)該減弱EMC的吸濕性解決爆米花效應(yīng),減少封裝的熱膨脹系數(shù),增強(qiáng)附著能力來改善脫層問題,防止電路失效發(fā)生。
只有在順利通過了Precon測試以后,才能保證產(chǎn)品能順利送到最終用戶端,這就是Precon被放在*個(gè)測試位置的原因所在。
終上所述,一個(gè)好的封裝要有好的可靠性能,必須有較強(qiáng)的耐濕,耐熱,耐高溫的能力,6個(gè)可靠性測試都逃不脫溫度,濕度這些內(nèi)容。我們通過可靠性測試能夠評(píng)估產(chǎn)品的可靠度,有利于回饋來改善封裝設(shè)計(jì)工藝,從而提高產(chǎn)品的可靠度。
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